Gegunde opdrachtLeveringenEuropees
Metrology SEM+FIB system
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Dit is een gegunde opdracht. Bekijk op TenderNed ook de oorspronkelijke aankondiging en eventuele latere publicaties.
Omschrijving
The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem
CPV-codes
- 31712000Micro-elektronische machines en toestellen en microsystemen (hoofdopdracht)
- 38900000Diverse apparatuur voor beoordeling en testen
Meer in deze hoofdgroep: Elektrische apparatuur en verlichting, Laboratorium- en precisie-instrumenten
Documenten
Er staan 8 documenten op TenderNed. Downloaden kan via de officiële publicatie.
| Naam | Soort | Grootte |
|---|---|---|
| TN604044 - EF16 Aankondiging van een opdracht - algemene richtlijn, standaardregeling 20260727143716 (pdf) | Aankondiging | 204 kB |
| TN604044 - EF29 Aankondiging gegunde opdracht - algemene richtlijn, standaardregeling 20261102132441 (pdf) | Aankondiging | 208 kB |
| Annex A03 - Price Sheet SEM+FIB system v3 (xlsx) | Aanbestedingsdocument | 2,9 MB |
| Part A (zip) | Aanbestedingsdocument | 3,8 MB |
| Part B (zip) | Aanbestedingsdocument | 197 kB |
| Part C (zip) | Aanbestedingsdocument | 894 kB |
| Public Tender Metrology SEM+FIB (pdf) | Aanbestedingsdocument | 902 kB |
| Information Notice SEM+FIB (pdf) | Nota van inlichtingen | 301 kB |