Naar de inhoud
Menu

Gegunde opdrachtLeveringenEuropees

European Tender Two Parallel Plate Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Systems

Universiteit Twente

Dit is een gegunde opdracht. Bekijk op TenderNed ook de oorspronkelijke aankondiging en eventuele latere publicaties.

Samenvatting van het bestek

AI-samenvatting — controleer altijd de officiële stukken

Voor deze aanbesteding is (nog) geen samenvatting beschikbaar. We vatten alleen documenten samen die op TenderNed staan.

Omschrijving

The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new systems for deposition of (doped) dielectric thin films to upgrade and reinforce their state-of-the-art thin film technology and processing capacity. The systems will be used for moderate-temperature deposition of low stress thin films. For the following materials:   silicon dioxide (SiO2) boron-doped SiO2 (BSG) phosphorus-doped SiO2 (PSG) boron-phosphorus-doped SiO2 (BPSG) low-stress silicon nitride (SiNx) silicon oxynitride (SiOxNy) amorphous silicon (aSi)

CPV-codes

  • 38000000Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) (hoofdopdracht)

Meer in deze hoofdgroep: Laboratorium- en precisie-instrumenten

Documenten

De aanbestedingsdocumenten staan niet op TenderNed maar op Mercell.

Meer open opdrachten

In Laboratorium- en precisie-instrumenten

Ontvang dit soort opdrachten automatisch

Maak een gratis zoekprofiel en krijg elke werkdag om 7 uur de nieuwe aanbestedingen die erbij passen.